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什么是电镜-能谱分析?
发布时间:2020-08-05  阅读次数:1851  来源:GTI
电镜-能谱分析仪包含两台仪器,即扫描电镜和能谱分析仪。
扫描电镜简写为SEM,其原理是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息,通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的图像。与光学显微镜相比,扫描电镜具有放大倍数高,可在20~200000倍之间连续调节;此外,扫描电镜景深大,可观测凹凸不平的表面,成像具有立体感。
X射线能谱分析简写为EDS,其原理是利用电子束与物质作用时产生的特征X射线,来对材料微区成分元素种类与含量进行分析,获取样品化学组成方面的信息。能谱分析可定性或半定量地检测大部分元素,还可进行表面污染物的分析,但需要配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
扫描电镜和能谱仪通常组合在一起材料表面进行微区成分分析。

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